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    我們知道潔凈室在潔凈度的要求上非常高，所以需要檢測的項目很多，那么你知道潔凈室各項目檢測的方法是什么嗎？潔凈室第三方檢測公司為大家解答。
    一、說明

    過濾網(wǎng)的泄漏測試應(yīng)當(dāng)是無塵室測試中，最復(fù)雜、最耗時間的測量項目。泄漏測試的目的，是要確認(rèn)：

    1. 濾網(wǎng)的材料無破損，

    2. 安裝恰當(dāng)。

    濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過泄漏測試，但是在搬運與安裝過程難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認(rèn)濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當(dāng)，微粒會從邊框漏進(jìn)無塵室風(fēng)口。就算是 FFU 系統(tǒng)，天花板上是負(fù)壓，若是邊框機有微粒日后仍舊會產(chǎn)生問題。因此，邊框掃描一樣重要。 濾網(wǎng)泄漏測試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。

    二、方法

    氣溶膠光度計測試法

    氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（ Aerosol Photometer ）是微粒計數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數(shù)目。 DOP 是一種油性化學(xué)物質(zhì)，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗證微粒。 微粒計數(shù)器測試法

    半導(dǎo)體業(yè)方面，早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)過科學(xué)家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn) PSL 因為微粒的粒徑與濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。

    潔凈度測試

    一、說明

    潔凈度測試是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認(rèn)無塵室的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過之后。潔凈度測試完畢，與落塵有關(guān)的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔凈度影響不大，或是屬于其它環(huán)境測試。

    二、測試儀器

    潔凈度測試使用微粒計數(shù)器，儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)，交附報告時須附合格之校正文件。微粒計數(shù)器有不同規(guī)格，最常見的是流量 1cfm ,最小粒徑可測到 0.3mm 或是 0.1mm ,單位多是立方英尺。至于應(yīng)使用何種設(shè)備，要依業(yè)主的規(guī)范而定。一般在產(chǎn)業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計數(shù)器。

    Class 1000 或更高： 0.5μm

    Class 100 : 0.3μm ,0.5um

    Class 1 到 Class 10 :0.1μm

    若是業(yè)主要求的粒徑范圍超過單一微粒計數(shù)器的范圍，則應(yīng)該使用兩部微粒計數(shù)器。目前市面上少見立方公尺的微粒計數(shù)器，因此若是無塵室的潔凈度是以 ISO 為基準(zhǔn)，則要把結(jié)果作換算。單位換算，不影響上限的計算程序。

    三、測試步驟：

    （1） 確定空調(diào)系統(tǒng)之測試調(diào)整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風(fēng)速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。

    （2） 確認(rèn)測試位置與測試點數(shù)。

    （3） 取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，若取樣時間小于一分鐘，則以一分鐘為準(zhǔn)。

    潔凈室第三方檢測公司為大家分享以上內(nèi)容，希望可以幫助到大家。